臼井 建人 | 株式会社日立製作所機械研究所
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概要
関連著者
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臼井 建人
株式会社日立製作所機械研究所
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市川 洋子
retired from Hitachi Ltd.
著作論文
- 分子線サンプリング法による化学蒸着反応機構の解析
- 分子線サンプリング法を用いた化学蒸着反応機構解析装置の開発(第二報)
- 分子線サンプリング法を用いたCVD反応機構解析装置の開発
- レーザ誘起蛍光法による蒸発分子流の挙動計測