三次元集積化技術とヘテロインテグレーション

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概要

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• 2011-11-01

著者

• 小柳 光正

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 福島 誉史

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 李 康旭

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 田中 徹

  東北大学大学院医工学研究科

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