ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The large-scale high-precision scan-stage is industrial equipment for microfabrications. The scan-stage needs not only fast and precise positioning but also the attitude control of the stage. The attitude of the stage is disturbed by the stage thrust in scanning. However, the sampling time of output is much longer than the sampling time of control input by DSP because image sensors are employed in the output encoder. It is difficult to reject the disturbances by single-rate feedback system. In this paper, we proposed the attitude control based on PTC (perfect tracking control) using driving force and surface shape of the stage. Finally, simulations and experiments are performed to show the advantages of the proposed control system.
- 2009-06-01
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
藤本 博志
横浜国立大学
-
佐伯 和明
ニコン
-
佐伯 和明
(株)ニコン精機カンパニー液晶露光装置事業部
-
坂田 晃一
横浜国立大学
-
藤本 博志
東京大学
-
大友 剛
(株)ニコン
-
坂田 晃一
東京大学
関連論文
- 喉頭原発悪性リンパ腫例
- 低年齢児および著明な低身長を呈する症例に対する Powered instruments を用いたアデノイド切除術
- 小児の喉頭に発生した顆粒細胞腫の1症例
- 尋常性乾癬, アナフィラクトイド紫斑病, ベーチェット病等の扁桃病巣皮膚疾患における扁桃摘出術の有効性
- 頸部炎症性筋線維芽細胞性腫瘍例
- 耳下腺 salivary duct carcinoma の3例と本邦における臨床的検討
- Basaloid squamous cell carcinoma の2例
- 下咽頭進行癌に対する放射線併用超選択的動注化学療法の有用性
- 耳小骨奇形を伴った Treacher Collins 症候群の1例
- 当科における顔面神経減荷術施行例の検討
- 小児鼓膜換気チューブ留置例の検討
- Miller Fisher 症候群例
- メトトレキサート関連リンパ増殖性疾患の3例
- 掌蹠膿疱症におけるCD29の発現
- Facelift incision を用いた頸部腫瘤摘出術の検討
- 上咽頭癌に対する放射線治療と化学療法による交替療法の治療成績
- 一側性の難聴で発見された Waardenburg 症候群I型の2症例
- 小児声帯白板症の1例
- 副鼻腔に転移した腎細胞癌例
- 舌巨大静脈奇形例
- 27pYP-4 ヘリカルとトカマクプラズマにおけるイオンの内部輸送障壁のダイナミクス(核融合プラズマ(磁場)(輸送・閉じ込め2),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- ポスト構造改革期における地域づくりと歴史の再把握 (地域の再生と歴史文化)
- カラムリーチング試験において農薬が浸透水中へ溶出した場合の浸透距離の換算方法の検討
- 自然地震観測におけるMEMS型加速度センサーの特性評価(首都直下地震防災・減災特別プロジェクトPart 2)
- 20aEH-5 スケールフリー・ネットワークのマルチフラクタル性(20aEH ネットワーク一般,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- 広域的地域における長期的CO2削減ロードマップ作成の試み
- 地球深部探査船「ちきゅう」の下北半島沖慣熟航海コア試料の年代モデル
- レシートログと消費行動に関する未来予測(ライフログ,人工現実感)
- 時間遅れ補償機能を有したビデオシースルーHMDの構築およびその評価(視覚ディスプレイ,人工現実感)
- コンピュータ科学におけるエスノメソドロジー研究の意義(平成21年度論文賞の受賞論文紹介)
- 折返し逆L形プローブ給電により帯域拡大したパッチアンテナ(アンテナ・伝搬)
- 太陽光利用型植物工場の知能化のためのSpeaking Plant Approach技術(農業生産技術の将来展望)
- 2-III-19 B_補酵素関与エタノールアミンアンモニアリアーゼの立体構造と変異導入に基づく触媒機構の解析(一般演題,日本ビタミン学会第62回大会発表要旨)
- プロジェクタとカメラを用いた大画面シルエットパズルの実現(画像,映像表現フォーラム)
- 顔距離画像を用いた2次元連続DPマッチングによる表情推定手法(視聴覚技術,ヒューマンインタフェース)
- 2p-Q-10 磁気希釈系MxZn_F_2(M=Mn,Fe),Rb_2MxMg_F_4(M=Mn,Co)における^F核の緩和機構
- 26aPS-69 LaCoO_3単結晶のNMR(領域8ポスターセッション(低温(Cu,Ru,Mn,Co酸化物など,磁束量子系,鉄系超伝導体)),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
- 副甲状腺嚢胞の4例
- Vocal cord dysfunction の1例
- 咽頭痛 (症候からみた小児の診断学) -- (頭頸部の症候)
- 篩骨洞に発生した髄膜腫の1例
- シラカンバ花粉症患者の治療に対する満足度調査
- 中耳腔に進展した髄膜腫の1症例
- 「小児急性中耳炎診療ガイドライン」の使用経験
- 耳症状を呈したウェゲナー肉芽腫症の検討
- 反回神経麻痺を誘発した副甲状腺腺腫例
- 掌蹠膿疱症扁桃におけるケモカインレセプターの発現
- IgA腎症に対する扁桃摘出術の臨床効果と予後予測因子の検討
- 北海道における小児急性中耳炎起炎菌の動向
- 小児口蓋扁桃摘出術の長期成績
- Vocal cord dysfunction と考えられた1例
- 咽喉頭異常感と胃食道逆流症(GERD)の関係
- 木村氏病の検討
- 顎下腺唾石に合併した扁平上皮癌例
- 音刺激による喉頭フィードバック機構
- 機能的電気刺激による筋萎縮抑制効果の分子生物学的機序
- 埋め込み型電気刺激装置を用いた喉頭ペーシング
- 臨床 大腿骨骨折で発見された甲状腺乳頭癌例
- 脳卒中片麻痺患者に対する部分面型ロコモーションインタフェースを用いた歩行リハビリテーションの効果の検討(平成20年度研究助成報告書)
- CC-21 胃全摘後の再建術式 : 術後経腸栄養を行うための工夫(第32回日本消化器外科学会総会)
- PD-04 疲労の経時的な変化を捉えるシステムの検討 : Wiiボードを用いた重心動揺の経時的測定(一般発表(ポスター&デモ),第37回日本バイオフィードバック学術総会抄録集)
- 13.大量化学療法を含む化学療法,放射線治療後に全摘し得た膵芽腫の1例(第39回九州地区小児固形悪性腫瘍研究会)
- 初任教師メンタリング支援システムFRICAの開発(協調学習とネットワーク・コミュニティ)
- 共鳴超音波スペクトロスコピーによる耐熱コーティングのヤング率異方性測定
- 19.気管切開術施行後に喉頭気管分離術を施行した17症例の検討(一般演題,第20回日本小児呼吸器外科研究会)
- 骨盤内腫瘍に対するより良い放射線治療を目指して : ティッシューエクスパンダーによる腹腔内臓器排除法
- 新薬紹介総説 プレガバリン(リリカ カプセル25mg・75mg・150mg)の薬理学的特徴および臨床試験成績
- ALE手法を用いた運動する車両周りの非圧縮性LES解析 : 第1報,基本的な流れ場における離散化手法の比較検討(流体工学,流体機械)
- 行動的コーチングによる合気道の技の改善
- シロドシン投与全症例の有害事象と継続率についての検討
- マイクロ波発生用高効率デュアル・レゾナント・キャビティInGaAs pin PD(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
- 光導電アンテナにおける連続テラヘルツ波に対するマイクロ波応答を用いたテラヘルツ周波数の測定
- 透析患者に対する日本版精神健康調査票短縮版（日本版GHQ-28）を用いたうつ病のスクリーニング
- 21pEL-2 パーコレーションからみた企業間ネットワークの臨界特性II(21pEL 経済物理学,生物・生態系(企業・消費・社会・言語),領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
- 超音波気管支鏡下リンパ節生検(EBUS-TBNA)施行後に発生した急性縦隔炎の1例
- 起こし回転型受動走行と平衡点解析(機械力学,計測,自動制御)
- 仮想計算機を適用したPCグリッドの開発と性能評価(システム開発論文)(情報・システム基礎)
- 21aGS-6 極めて短いグラフェン接合の電界効果(21aGS 領域7,領域4合同 グラフェン,領域7(分子性固体・有機導体))
- W5 更年期の精神神経症状に対する加味逍遙散投与,ホルモン補充療法の効果の比較(ワークショップ1「更年期医療および婦人科疾患」,これからの女性心身医学におけるサイエンスとその展望:分子レベルから臨床医学まで,第39回日本女性心身医学会学術集会)
- 応答曲面法で楽に培養最適化(バイオミディア)
- 1930-40年代シカゴにおける改革芸術学校ニュー・バウハウスの教育と同カリキュラムに関する一考察 : L・モホリ=ナギの主要著作『ビジョン・イン・モーション』(1947)の背後に付されたカリキュラム・コードを手掛かりとして
- 23450 中央構面に連層耐力壁を有する6層RC造立体試験体の仮動的実験 : その3.建物の動的応答性状(骨組(3),構造IV)
- 肩腱板広範囲断裂の手術療法
- 塩害と中性化の複合劣化および硫酸腐食によるコンクリートの劣化予測モデル
- ジャック・ロンドンの心霊ホラー小説を読む : 唯物主義作家が恐れたこと (辻井榮滋教授退任記念論文集)
- 重症心身障害児(者)に対する喉頭摘出術
- 20pPSA-39 ホーランダイト型マンガン酸化物の高圧合成と物性(20pPSA 領域8ポスターセッション(低温II(Cu,Ru,Mn,Co酸化物など,磁束量子系)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 嗅神経芽細胞腫5症例の検討
- 下顎骨 fibrous dysplasia の1例
- 副咽頭間隙に進展した耳下腺悪性混合腫瘍の一例
- IgA腎症扁桃リンパ球におけるBAFFの発現
- 敗血症性ショックをおこした頸部放線菌症例
- 『アロマサイエンスシリーズ21[5] においと医学・行動遺伝』, アロマサイエンスシリーズ21編集委員会編, B5判/298頁, 5,670円, フレグランスジャーナル社, 東京, 2004年2月, ISBN4-89479-076-9
- 好酸球性中耳炎10症例の検討
- 頭頸部に転移を繰り返した腎細胞癌例
- 咽頭梅毒症例
- 鼻腔通気度測定法ガイドラインと利用状況
- 舌筋内神経鞘腫例
- 当科における原発不明転移性頸部癌の検討
- 北海道根室市における耳鼻咽喉科学校検診結果の解析