佐伯 和明 | ニコン
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概要
関連著者
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佐伯 和明
ニコン
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藤本 博志
東京大学
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坂田 晃一
横浜国立大学
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藤本 博志
横浜国立大学
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坂田 晃一
東京大学
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佐伯 和明
(株)ニコン精機カンパニー液晶露光装置事業部
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大友 剛
(株)ニコン
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関 優志
横浜国立大学
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原 篤史
ニコン
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大友 剛
ニコン
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下山 隆司
(株)ニコン
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弓座 大輔
ニコン
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徳山 享大
東京大学
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野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
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野波 健蔵
千葉大学大学院工学研究科
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平田 光男
宇都宮大学工学部電気電子工学科
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平田 光男
千葉大学工学部
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山中 貴裕
ニコン
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佐伯 和明
（株）ニコン
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下山 隆司
（株）ニコン
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藤原 大悟
千葉大
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三木 裕一朗
ニコン
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堀 洋一
東京大学
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藤原 大悟
千葉大学大学院自然科学研究科
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野波 健蔵
千葉大
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平田 光男
千葉大学
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関 優志
東京大学
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西野 秀昭
ニコン
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藤本 博志
東大
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平田 光男
千葉大
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坂田 晃一
ニコン
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大西 亘
東京大学
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鈴木 一弘
ニコン
著作論文
- 2質点4自由度モデルを用いたガントリ型超精密位置決めステージの機構と制御における同時最適化の基礎検討
- ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
- 完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御
- ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証
- 超精密ステージの機構と制御の同時最適化の基礎検討
- マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
- 127 非接触大型超精密ステージの 2 自由度 H_∞ 制御
- 完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御
- 超精密ガントリステージにおける複数センサを用いた共振モードにロバストなフィードバック制御器設計 (産業計測制御研究会 産業計測制御一般)
- 超精密ガントリステージにおける複数センサを用いた共振モードにロバストなフィードバック制御器設計
- 精密位置決めステージにおける高次ピッチングモードを考慮した位置決め制御
- 粗微動間の連結分離機構を有するステージの高速高精度制御系の提案
- 粗微動間の連結分離機構を有するステージの衝突力緩和制御
- 超精密ステージにおけるオイラーの運動方程式の非線形性と軸間干渉を補償した姿勢制御の一提案