2質点4自由度モデルを用いたガントリ型超精密位置決めステージの機構と制御における同時最適化の基礎検討

元データ 2010-03-09

著者

藤本 博志 横浜国立大学
佐伯 和明 ニコン
関 優志 横浜国立大学
原 篤史 ニコン
山中 貴裕 ニコン
藤本 博志 東京大学

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