精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ : 共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案

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概要

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• 電気学会の論文
• 2009-03-10

著者

• 藤本 博志

  横浜国立大学

• 坂田 晃一

  横浜国立大学

• 藤本 博志

  東京大学

• 坂田 晃一

  東京大学

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