坂田 晃一 | 東京大学

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概要

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関連著者

• 坂田 晃一

  横浜国立大学

• 坂田 晃一

  東京大学

• 藤本 博志

  横浜国立大学

• 佐伯 和明

  ニコン

• 藤本 博志

  東京大学

• 大友 剛

  (株)ニコン

• 佐伯 和明

  (株)ニコン精機カンパニー液晶露光装置事業部

• 大友 剛

  ニコン

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 原 篤史

  ニコン

• 下山 隆司

  (株)ニコン

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著作論文

• ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
• ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証
• 超精密ステージの機構と制御の同時最適化の基礎検討
• マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
• 量子化誤差低減のための移動差分ロングサンプリングオブザーバの提案
• 完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御
• 精密ステージの構造に基づくナノスケールサーボ : 共振モードを考慮したマルチレートPWM位置制御の提案
• マルチレート制御とむだ時間補償に基づく精密実験ステージのマスタ・スレーブ同期位置制御
• PWMホールドモデルに基づくサーボモータの完全追従制御法
• 超精密ガントリステージにおける複数センサを用いた共振モードにロバストなフィードバック制御器設計

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