大友 剛 | (株)ニコン
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概要
関連著者
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大友 剛
(株)ニコン
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藤本 博志
横浜国立大学
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佐伯 和明
ニコン
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坂田 晃一
横浜国立大学
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坂田 晃一
東京大学
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藤本 博志
東京大学
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大友 剛
ニコン
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野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
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佐伯 和明
(株)ニコン精機カンパニー液晶露光装置事業部
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那須 潜思
仙台電波工業高等専門学校
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那須 潜思/大友
仙台電波工業高等専門学校/(株)ニコン
著作論文
- ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
- ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証
- マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
- 液晶セルのセル厚測定装置の製作