大友 剛 | ニコン

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概要

• 同名の論文著者
• ニコンの論文著者

関連著者

• 藤本 博志

  横浜国立大学

• 佐伯 和明

  ニコン

• 坂田 晃一

  横浜国立大学

• 大友 剛

  (株)ニコン

• 大友 剛

  ニコン

• 坂田 晃一

  東京大学

• 藤本 博志

  東京大学

著作論文

• ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証
• マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御

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