非線形摩擦補償と制振PTCに基づくボールねじ駆動ステージの位置決め制御

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概要

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• 電気学会の論文
• 2009-03-09

著者

• 藤本 博志

  横浜国立大学

• 藤本 博志

  東京大学

• 浅海 博圭

  横浜国立大学

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