p型反転層のピエゾ抵抗効果を用いたCMOS集積化3軸加速度センサ

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概要

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• 1996-11-11

著者

• 松本 佳宣

  豊橋技術科学大学工学部電気電子工学系

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学

• 松本 佳宣

  慶應義塾大学理工学部

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学

• 松本 佳宣

  豊橋技術科学大学

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