マイクロ波励起プラズマ酸化法で作製した強磁性トンネル接合 : TMR効果に及ぼす希ガスの影響
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概要
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- 2002-09-01
著者
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
西川 和宏
東北大
-
高橋 研
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大学工学部電子工学科
-
尾形 聡
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻:月島機械(株)真空事業推進部技術グループ
-
尾形 聡
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
西川 和宏
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
尹 大植
東北大学工学研究科電子工学専攻
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