機能性薄膜作製のためのスパッタリングターゲット : 技術課題と今後への指針
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概要
著者
-
角田 匡清
東北大工
-
斉藤 伸
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学未来共同科学研究センター
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角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
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斉藤 伸
東北大学大学院工学研究科 電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科 電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
-
斉藤 伸
東北大学大学院 工学研究科
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