「Kerr効果顕微鏡BH-78シリーズ」 : μmオーダー面内/垂直磁区の高明暗比観察のために(新技術・新商品)
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概要
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磁気記録デバイスやスピントロニクスデバイスでは,1990年代後半からの飛躍的な微細加工技術の進展にともなって構成要素となる磁性材料が数十μm〜サブμmにパターン化され小型化されてきました.これらの磁性材料では試村内各場所での磁気特性がその性能を左右することから,パターン試料内部の磁区構造観察に対する需要が高まっています.今目我々は,高倍率化と高明暗比化との両立を図った光学系の設計により,研究者が光軸の調整や試料の前処理を施すことなく迅速簡便に,μmオーダーの面内ならびに垂直磁区を観察できるKerr効果顕微鏡を開発しました.
- 2004-12-01
著者
-
斉藤 伸
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
目黒 栄
ネオアーク株式会社
-
赤羽 浩一
ネオアーク株式会社
-
伊藤 聡
ネオアーク株式会社
-
仲 真美子
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
斉藤 伸
東北大学大学院工学研究科 電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科 電子工学専攻
-
斉藤 伸
東北大学大学院 工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院 工学研究科電子工学専攻
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