インラインプロセスにより制御した裏打ちFeTaN薄膜の軟磁気特性ならびにノイズ特性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2001-09-01

著者

• 斉藤 伸

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 平井 健一

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 斉藤 伸

  学振

• 高橋 研

  東北大

関連論文

• Fe4N/MgO/CoFeB強磁性トンネル接合の磁気抵抗効果の温度依存性
• 垂直磁気記録媒体のための擬似六方晶薄膜の開発 (磁気記録・情報ストレージ)
• γ-Mn-Ir/Fe-Co-Ni積層膜の交換磁気異方性と強磁性層結晶構造との相関
• mmオーダーの磁区観察可能な広視野縦Kerr効果ベクトル磁区観察装置の開発(媒体,一般)
• 垂直磁気記録媒体のための擬似六方晶薄膜の開発(媒体,一般)
• Hcp Co ナノ粒子群の液相合成と磁気特性
• ポリオール法により合成したFePtナノ粒子の構造と磁気特性
• 「Kerr効果顕微鏡BH-78シリーズ」 : μmオーダー面内/垂直磁区の高明暗比観察のために(新技術・新商品)
• Ni-Fe/Mn-Ir積層膜の交換磁気異方性と微細構造 -Mn-Ir膜の成膜レートとIr量に対する依存性-
• Co/Cu多層膜のGMR効果に及ぼす成膜雰囲気中の残留ガスの影響
• 21pWD-2 窒化鉄薄膜の偏極中性子回折による巨大磁気モーメントの検証(薄膜・人工格子磁性,領域3,磁性,磁気共鳴)
• ポリオールプロセスより合成されたCoPtナノ粒子単層膜の磁気特性および結晶構造
• FePtナノ粒子単層膜の構造と磁気特性
• CoSi合金ターゲットのリアクティブスパッタリングによるCo—SiO2グラニュラー膜の作製プロセスの低ガス圧化
• Co-Si-O素材組換えターゲットにより作製されるグラニュラー薄膜の成膜条件と構造および磁気特性
• 高周波デバイス対応磁性ナノ粒子集合体の形成と動的磁気特性
• 粒子成長速度がFeナノ粒子の飽和磁化に及ぼす影響
• 高周波デバイス対応磁性ナノ粒子/ポリマー複合材料
• 超常磁性ナノ粒子集合体形成とその高周波磁気特性
• ポリオール法で作製したFePtナノ粒子の養生過程における規則化過程
• mmオーダーの磁区観察可能な広視野縦Kerr効果ベクトル磁区観察装置の開発 (磁気記録・情報ストレージ)
• Qバンド強磁性共鳴を用いたc面配向CoPtCr合金薄膜の異方性磁界およびg因子の評価
• c面配向擬似六方晶Co_Ge_x薄膜の一軸結晶磁気異方性(記録システムおよび一般)
• c面配向擬似六方晶Co_Ge_x薄膜の一軸結晶磁気異方性(記録システム及び一般)
• グラニュラー型垂直磁気記録媒体における界面制御
• Kerr 効果顕微鏡 : μmオーダの迅速な磁区構造観察と磁区内局所磁化方向の決定
• 機能性薄膜作製のためのスパッタリングターゲット : 技術課題と今後への指針
• 垂直磁気記録媒体用物理的/化学的分離テンプレート中間層の作製
• 垂直磁気記録媒体用物理的/化学的分離テンプレート中間層の作製(磁気記録に関わる材料及びシステムの開発と評価)
• 負の一軸結晶磁気異方性をもつ軟磁性材料を用いた裏打ち膜の提案 : WATEおよびスパイクノイズの同時抑制のために(磁気記録)
• Kerr効果顕微鏡 : μm磁区構造の迅速な観察のために(「磁性に関連したセンシング技術の広がりとその最前線」その2-磁気イメージング-)
• 超高密度ストレージ用極薄磁性膜の微細組織・界面制御
• μm磁区観察を可能とする高明暗比縦 Kerr 効果顕微鏡の開発
• サブμm孤立パターンの磁化過程検出を可能とする縦 Kerr 効果磁気履歴曲線検出装置の開発
• ポストアニールを用いた非磁性元素拡散によるCoCrPtエピタキシャル垂直磁気記録媒体の粒間相互作用低減
• 反強磁性的交換結合を有するCo/Pd系多層垂直磁化膜の磁気特性
• めっき裏打ち膜付きAl/NiP基板の開発 : 強磁性層/反強磁性層の作製工程の低減
• 反強磁性/軟磁性積層裏打ち膜における磁化過程の軟磁性膜厚依存性
• Ti下地,Tiキャップ層を用いたCoCr系ポストアニール媒体における磁性結晶粒の磁気的孤立化(磁気記録)
• Al/NiPディスク上に作製しためっき軟磁性裏打ち層の磁気特性と単磁区化(磁気記録)
• RKKY的層間結合を有する積層裏打ち膜の交換結合磁界の増大(磁性薄膜,磁気記録一般)
• RKKY的層間結合を有する積層裏打ち膜の交換結合磁界の増大
• Ti/CoCrPt/Ti垂直記録媒体におよぼす in situ anneal の効果
• Ti下地, Tiキャップ層を用いたCoCrPt系 in situ anneal 媒体の磁気特性の向上
• Mn-Si-Cスパッタリング薄膜の構造および磁気特性
• RKKY的層間結合を有する積層裏打ち膜の交換結合磁界の増大
• 新規めっき裏打ち層付Ni-P/Al基板の作製 : 磁気特性並びに単磁区化
• 高飽和磁化かつ低 SUL ノイズ特性導出のための窒素添加 Fe-Si-Al 微結晶軟磁性材料の検討
• 高飽和磁化かつ低SULノイズ特性導出のための窒素添加Fe-Si-Al微結晶軟磁性材料の検討(垂直記録,一般)
• 磁気的層間結合を利用した高浮遊磁界耐性化裏打ち膜の材料課題(磁気記録媒体)
• 高角型比・高規格化保磁力CoCr基垂直磁気記録媒体の材料設計(磁気記録媒体)
• 磁気的層間結合を利用した裏打ち膜の高浮遊磁界耐性化
• FeTaN/CoCrPtB垂直二層膜媒体用中間層の構造制御と薄膜化
• CoCr/C中間層の導入によるCoCrPt系垂直薄膜媒体の高K_u化
• CoCrPtB垂直薄膜媒体の磁気特性の温度変化
• 高角型比・高規格化保磁力CoCr基垂直磁気記録媒体の材料設計
• 極薄C層を用いたCoCrPtB/Co_Cr_垂直磁気記録媒体の微細構造解析
• インラインプロセスにより制御した裏打ちFeTaN薄膜の軟磁気特性ならびにノイズ特性 : 垂直磁気記録媒体
• CoCr基垂直薄膜媒体の回転ヒステリシス損失消失磁界の膜厚依存性 : 垂直磁気記録媒体
• Co_Cr_/極薄C中間層を用いたCoCrPtB垂直磁気記録媒体の磁気特性と微細構造 : 垂直磁気記録媒体
• インラインプロセスにより制御した裏打ちFeTaN薄膜の軟磁気特性ならびにノイズ特性
• c面配向MnSbスパッタ薄膜の垂直磁気異方性の温度特性
• CoCr基垂直薄膜媒体の回転ヒステリシス損失消失磁界に関する考察
• 非磁性CoCr/極薄C中間層を用いたCoCrPtB垂直磁気記憶媒体の磁気特性と微細構造
• 種々の下地・磁性層材料を用いたCoCr基垂直薄膜媒体の初期層厚の定量解析
• スパッタリング法により作製したC面配向MnSb薄膜の平坦化
• 光学的手法による垂直薄膜媒体磁化過程の膜厚方向解析
• CoCr基垂直薄膜媒体におけるコラム状結晶と初期層の磁気特性の分離評価
• Co基垂直薄膜媒体のコラム状晶内結晶磁気異方性 : 垂直トルクの膜厚依存性の解析
• 光学的手法による垂直薄膜媒体磁化過程の膜厚方向解析
• c面高配向MnSb薄膜作製プロセスの低温化
• プレーナ配置式スパッタリング法によるMnSbエピタキシャル薄膜の作製 : エピタキシャル成長に及ぼす基板温度ならびに基板バイアスの効果
• MnSbスパッタ薄膜の成長過程に及ぼす基板バイパス効果
• プレーナ配置式スパッタ法によるMnSbエピタキシャル薄膜の作製 (種々のSi基板上に作製したMnSb薄膜の配向制御)
• スパッタリング法によるMnSbエピタキシャル薄膜の作製 : 荷電粒子のエピタキシャル成長への影響
• MnSbPt薄膜の微細構造と磁気光学効果 : PtMnSb相の析出・再結晶と磁気光学構造の波長シフト
• スパッタリング法によるMnSbエピタキシャル薄膜の作製
• MnSbPt薄膜の微細構造と磁気光学効果(PtMnSb相の析出・再結晶と磁気光学構造の波長シフト)
• スパッタリング法によるMnSbエピタキシャル膜の作製 : Si基板上に作製したMnSb薄膜の配向制御
• MnSbPt薄膜の誘電率テンソルと磁気光学効果
• MnSbPt薄膜の微細構造と磁気光学効果
• MnSbM(M=Pt, Au, Pd)薄膜の構造および磁気光学特性
• MnSbPt薄膜の光学および磁気光学効果
• MnSbPt薄膜の微細構造と磁気光学効果
• スパッタリング法によるMnSbエピタキシャル膜の作製 (Si基板上に作製したMnSb薄膜の配向制御)
• MnSbPt薄膜の構造と巨大磁気光学効果 (磁気光学・光磁気記録)
• MnSbPd薄膜の構造および磁気光学特性
• 巨大磁気力-回転角を有するMnSbPt薄膜の微細構造
• MnSbPt薄膜の光学および磁気光学特性
• NiAs型MnSbAu薄膜の磁気および磁気光学特性
• NiAs型MnSbPt薄膜の微細構造と巨大磁気光学効果
• mmオーダーの磁区観察可能な広視野縦Kerr効果べクトル磁区観察装置の開発(媒体,一般)
• 垂直磁気記録媒体のための擬似六方晶薄膜の開発(媒体,一般)
• 今, 改めて問われる成膜プロセスの質
• 今，改めて問われる成膜プロセスの質
• 斜め入射成膜した Ru 中間層によるグラニュラ型垂直磁気記録媒体の非磁性スペーシングの低減
• グラニュラ型垂直磁気記録媒体の作製プロセスとナノ構造制御 : 高ガス圧プロセス脱却がもたらすブレイクスルー (特集 磁性薄膜研究の最前線(1)合金薄膜形成技術)
• グラニュラ型垂直磁気記録媒体の作製プロセスとナノ構造制御 : 高ガス圧プロセス脱却がもたらすブレイクスルー
• 磁気光学効果による2次元ナノ構造を有する貴金属のプラズモンモードの研究
• 基板加熱成膜によるc面配向Coスパッタ薄膜の完全六方晶化(記録媒体、一般)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク