BCC固溶体下地層上に作製したCu膜の面内結晶粒径の増大
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概要
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- 2003-09-01
著者
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高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
今北 健一
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
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高橋 研
東北大学大学院 工学研究科電子工学専攻
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