スパッタ法ならびに蒸着法で作製したCu薄膜の初期成長過程-SAWと電気抵抗による観察-
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
芝 隆司
日立メディアエレ
-
芝 隆司
(株)日立メディアエレクトロニクス横浜事業所
-
高橋 研
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
芦野 雅一
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
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