下地層による薄膜面内結晶粒径の増大とマイクロ波励起プラズマによるトンネル障壁膜の形成プロセス
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2003-11-28
著者
-
吉村 哲
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
今北 健一
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院 工学研究科電子工学専攻
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