基板表面への酸素暴露によるWCrシード層の微細構造制御
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
吉村 哲
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
ジャヤプラウィラ D.
東北大学大学院工学研究科電子工学
-
三上 正樹
東北大
-
小宮山 和弥
富士電機株式会社
-
Djayaprawira David
東北大学大学院工学研究科電子工学
-
三上 正樹
東北大学大学院工学研究科電子工学
-
ジャヤプラウィラ D.
東北大学 工学部 電子工学科
-
Djayaprawira D
東北大学大学院工学研究科電子工学
-
ジャヤプラウィラ D.
東北大学
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