マイクロ波励起プラズマによるAl膜の酸化過程
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概要
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- 2003-09-01
著者
-
角田 匡清
東北大院工
-
吉村 哲
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
庄山 敏弘
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
尹 大植
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
野澤 俊晴
東北大
-
庄山 敏弘
東北大
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