庄山 敏弘 | 東北大

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概要

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• 同名の論文著者
• 東北大の論文著者

関連著者

• 吉村 哲

  東北大学大学院工学研究科

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科

• 角田 匡清

  東北大 大学院工学研究科

• 庄山 敏弘

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 庄山 敏弘

  東北大

• 角田 匡清

  東北大院工

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 高橋 研

  東北大

• 野澤 俊晴

  東北大

• 角田 匡清

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 高橋 研

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 高橋 研

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 角田 匡清

  東北大学工学部電子工学科

• 尾形 聡

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻:月島機械(株)真空事業推進部技術グループ

• 尾形 聡

  東北大学工学研究科電子工学専攻

• 吉村 哲

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 尹 大植

  東北大学工学研究科電子工学専攻

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著作論文

• マイクロ波励起プラズマ窒化法で作製した強磁性トンネル接合
• 酸素添加成膜法による金属膜の平坦化とそれによるトンネル接合膜のTMR特性の改善
• Al-N絶縁層を有するトンネル接合膜のTMR特性に及ぼす窒化種の影響
• マイクロ波励起プラズマ窒化法で作成した強磁性トンネル接合(II)
• マイクロ波励起プラズマによる種々の酸化物絶縁膜の形成
• マイクロ波励起プラズマによるAl膜の酸化過程

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