酸素添加成膜法による金属膜の平坦化とそれによるトンネル接合膜のTMR特性の改善
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概要
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- 2004-09-21
著者
-
角田 匡清
東北大院工
-
吉村 哲
東北大学大学院工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
高橋 研
東北大
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
庄山 敏弘
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
野澤 俊晴
東北大
-
庄山 敏弘
東北大
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