微量酸素添加スパッタ雰囲気中で作製したCo-Fe/Cu多層膜のGMR効果
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概要
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Co-Fe/Cu multilayers having Cu layer thickness in the second peak of MR oscillation were fabricated under a sputtering atmosphere with a small amount of oxygen introduced as an impurity. Their giant magnetoresistance effect was investigated as a function of the partial pressure of oxygen introduction, P_<O2>, from 3×10^<-10> Torr to 1×10^<-6> Torr. Magnetoresistance (MR) ratio increased with increasing P_<O2> up to 5×10^<-8> Torr. The surface roughness decreased from 6 Å to 2 Å with increasing P_<O2>. Such changes of MR ratio and surface roughness versus P_<O2> correspond closely to the changes in Co/Cu multilayers having Cu layer thickness in the first peak of MR oscillation. The maximum field sensitivity of 0.28%/Oe was obtained at P_<O2>=1×10^<-7> Torr.
- 2001-04-15
著者
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
三浦 聡
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
新井 秀雄
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
-
高橋 研
東北大学大学院 工学研究科電子工学専攻
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