スパッタリングプロセス中の不純物制御による機能性磁性薄膜の微細組織制御
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概要
著者
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高橋 研
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
角田 匡清
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
ジャヤプラウィラ D.
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
高橋 研
東北大学大学院工学研究科
-
角田 匡清
東北大 大学院工学研究科
-
ジャヤプラウィラ D.
東北大学大学院工学研究科電子工学
-
角田 匡清
東北大学大学院 工学研究科
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高橋 研
東北大学大学院 工学研究科電子工学専攻
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