堆積部位に磁場を印加しつつ堆積した高周波マグネトロンスパッタ法によるBi_2Sr_2Ca_<n-1>Cu_nO_y超伝導薄膜の作製
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概要
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We deposited Bi2Sr2Can-1CunOy (Bi-based) superconducting thin films by the RF magnetron sputtering under external magnetic field of about 1 T. The as-deposited films were Bi-2223 single-phase, and their Tc was about 70 K without any in-situ or ex-situ annealing process. Therefore, this method is thought to be useful for obtaining the Bi-based films with high Tc.
- 日本真空協会の論文
- 2005-03-20
著者
-
藤原 直樹
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
岸田 悟
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
大西 隆洋
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
斎藤 賢治
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
尾内 由香里
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
岸田 悟
鳥取大学大学院工学研究科
-
岸田 悟
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
岸田 悟
鳥取大学大学院 工学研究科
-
岸田 悟
鳥取大 工
-
岸田 悟
鳥大工
-
岸田 悟
鳥取大 大学院工学研究科
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