Heガスを用いたBi_2Sr_2Ca_<n-1>Cu_nO_yスパッタ薄膜の組成制御
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概要
著者
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吉川 英樹
物材機構
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吉川 英樹
物質・材料研究機構 SPring-8
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吉川 英樹
物材機構はりま
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吉川 英樹
科学技術庁無機材質研究所
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福島 整
物質・材料研究機構物質研究所
-
葛原 宏治
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
岸田 悟
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
松本 浩介
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
小椋 満
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
水谷 剛
物質・材料研究機構物質研究所
-
徳高 平蔵
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
小椋 満
鳥取大学・工
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岸田 悟
鳥取大学大学院工学研究科
-
福島 整
独立行政法人物質・材料研究機構 ナノ計測センター先端表面化学分析グループ
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岸田 悟
鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻
-
岸田 悟
鳥取大 工
-
岸田 悟
鳥大工
-
福島 整
無機材質研究所
-
岸田 悟
鳥取大 大学院工学研究科
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徳高 平蔵
鳥取大学工学部
-
福島 整
物質・材料研究機構
-
吉川 英樹
物質・材料研究機構
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