デバイス動作下硬X線光電子分光法による最先端材料の物性解明 (第30回表面科学学術講演会特集号(1))

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概要

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著者

• 山下 良之

  物材機構

• 吉川 英樹

  物材機構

• 長田 貴弘

  (独)物質・材料研究機構 半導体材料センター

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