デバイス動作下硬X線光電子分光法による最先端材料の物性解明
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概要
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- 2011-06-10
著者
-
山下 良之
物材機構
-
吉川 英樹
物材機構
-
小林 啓介
物材機構
-
吉川 英樹
科学技術庁無機材質研究所
-
小林 啓介
(独)物質・材料研究機構
-
長田 貴弘
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
山下 良之
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
吉川 英樹
(独)物質・材料研究機構 共用ビームステーション
-
知京 豊祐
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
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