Analysis of Thermal Drift of A Constant Temperature Control Type Three-Axis Accelerometer for High Temperatures
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概要
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In this paper, a suppression method of generated distortion on the beam structures due to thermal stress is investigated for reduction of remainder thermal drift in three-axis accelerometer for high temperatures. An arrangement of piezoresistors for acceleration detection is presented to further reduction of thermal drift. Thermal drift analysis and design of advanced three-axis accelerometer for high temperatures without temperature dependence has been carried out with the finite element method (FEM) program, ANSYS. Experimental results agreed well with these theoretical results. Design considerations that enable the three-axis accelerometer to have stable sensitivity and offset are described with the simulated results.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-12-01
著者
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
TAKAO Hidekuni
Toyohashi University of Technology
-
SAWADA Kazuaki
Toyohashi University of Technology
-
ISHIDA Makoto
Toyohashi University of Technology
-
Sawada K
Shizuoka Univ. Hamamatsu
-
Ishida M
Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn
-
Lee Kyung
Toyohashi University Of Technology Department Of Electrical And Electronic Engineering
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