振動加速度の測定によるターボ分子ポンプ軸受けの保全
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概要
著者
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斎藤 和雄
名古屋工業技術研究所
-
丹羽 博昭
名工試
-
種村 誠太
名工試
-
中尾 節男
名古屋工業技術研究所
-
宮川 草児
名古屋工業技術研究所
-
池山 雅美
名古屋工業技術試験所
-
丹羽 博昭
名古屋工業技術研究所
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種村 誠太
名古屋工業技術研究所
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
中尾 節男
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 佳子
名古屋工業技術研究所
-
宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
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斉藤 和雄
名古屋工技試
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池山 雅美
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
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種村 誠太
名古屋工技研
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池山 雅美
名古屋工業技術研究所
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