Carbon蒸着膜におけるスパッタ率の基板依存性
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概要
著者
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丹羽 博昭
名工試
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丹羽 博昭
名古屋工業技術研究所
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丹羽 博昭
工業技術院名古屋工業技術試験所
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種村 誠太
工業技術院名古屋工業技術研究所融合材料部
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小早川 幹夫
工業技術院名古屋工業技術試験所
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斎藤 和雄
工業技術院名古屋工業技術試験所
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種村 誠太
工業技術院名古屋工業技術試験所
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