2p GD-11 He, ArイオンによるC, SiCのスパッタリング
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1979-03-15
著者
-
斎藤 和雄
名古屋工業技術研究所
-
小早川 幹夫
名工試
-
丹羽 博昭
名工試
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種村 誠太
名工試
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丹羽 博昭
名古屋工業技術研究所
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斉藤 和雄
名古屋工技試
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斉藤 和雄
名工試
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種村 誠太
名古屋工技研
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