イオン注入した窒素の共鳴核反応法による深さ分析 : (I)自動測定装置
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概要
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鋭い共鳴幅の核反応を利用した共鳴核反応法は表層における軽元素の深さ分析に特に優れた分析法である.この方法では, 分析に用いるプロトンやヘリウムなどのエネルギーを一定の照射量ごとに細かなエネルギーステップで変化させ, 発生するガンマ線や粒子線を測定し, 励起曲線を得る.本報告ではこの励起曲線を自動的に得るためのエネルギー走査型データ取り込みシステムについて述べた.プロトンエネルギーは加速電圧を一定に保ったまま, 試料ホルダーに印加したバイアス電圧を-30kVから+30kVの範囲で一定のビーム電流ごとに〜0.5kV刻みで変化させることで走査した.これにより, 測定誤差の少ないなめらかな励起曲線を得ることができた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1996-08-05
著者
-
種村 誠太
名工試
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 佳子
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
宮川 草児
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
種村 誠太
工業技術院名古屋工業技術研究所融合材料部
-
種村 誠太
名古屋工技研
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