PEGASUS : プラズマ材料プロセス・希薄気体統合シミュレーションツール
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概要
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- 2002-08-05
著者
-
田中 正明
ペガサスソフトウェア
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
中舘 博
ペガサスソフトウェア(株)
-
中尾 節男
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 草児
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
中尾 節男
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター
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