Subplantationモデルに基づいたa-C:H膜形成の動的モンテカルロ・シミュレーション
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概要
著者
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池山 雅美
名古屋工業技術試験所
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宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
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中尾 節男
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
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中尾 節男
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
池山 雅美
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
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