イオン注入した窒素の共鳴核反応法による深さ分析 : (II)励起曲線から深さ分布への変換プログラム
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概要
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本報告では共鳴核反応法で得られた励起曲線から窒素の深さ分布を得るために作成したパソコン用解析プログラムについて述べた.このプログラムにおいては試料表面を均一な組成を持つ数十の層に分割し, 入射したプロトンのエネルギーの広がりをガウス分布で近似し, 一つの層の中で発生するガンマ線強度を誤差関数を用いて求めている.分割した層はそれぞれガンマ線の測定データに対応し, 生データから簡単な計算で求めた窒素濃度分布から出発して計算を繰り返し, 得られたガンマ線強度分布が励起曲線と一致したら計算を終える.これにより, 小さなパソコンでも十分に早い解析が可能である.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1996-08-05
著者
-
種村 誠太
名工試
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 佳子
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
宮川 草児
工業技術院名古屋工業技術試験所
-
宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
種村 誠太
工業技術院名古屋工業技術研究所融合材料部
-
種村 誠太
名古屋工技研
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