バイポーラ・パルスを利用したPBII法によるDLC膜コーティング
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概要
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- イオン注入表層処理研究会の論文
- 2001-11-30
著者
-
宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
中尾 節男
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
-
宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
-
中尾 節男
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
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