プラズマCVDによる硬質カーボン膜コーティング
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概要
著者
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小早川 幹夫
名工試
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斉藤 和雄
名古屋工業技術試験所
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池山 雅美
名古屋工業技術試験所
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丹羽 博昭
名古屋工業技術研究所
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種村 誠太
名古屋工業技術研究所
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小早川 幹夫
名古屋工業技術試験所
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池山 雅美
名古屋工業技術研究所
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