小早川 幹夫 | 名古屋工業技術試験所

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概要

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• 同名の論文著者
• 名古屋工業技術試験所の論文著者

関連著者

• 斉藤 和雄

  名古屋工業技術試験所

• 丹羽 博昭

  名古屋工業技術研究所

• 種村 誠太

  名古屋工業技術研究所

• 小早川 幹夫

  名古屋工業技術試験所

• 小早川 幹夫

  名工試

• 種村 誠太

  名工試

• 池山 雅美

  名古屋工業技術試験所

• 田畑 三郎

  大阪工業技術試験所

• 池山 雅美

  名古屋工業技術研究所

著作論文

• RBS法によるa-SixCyHz膜の組成分析
• マグネトロン反応性スパッタリングによる炭化シリコン膜の組成と表面状態
• プラズマCVDによる硬質カーボン膜コーティング
• 低圧プラズマCVDによる窒化シリコンコーティング膜
• プラズマCVDによる硬質カーボン膜コーティング

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