田中 正明 | ペガサスソフトウェア

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概要

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• 同名の論文著者
• ペガサスソフトウェアの論文著者

関連著者

• 田中 正明

  ペガサスソフトウェア

• 中村 圭二

  中部大学

• 中村 圭二

  中部大学工学部

• 板津 史明

  中部大学

• 宮川 佳子

  産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門

• 中舘 博

  ペガサスソフトウェア(株)

• 中尾 節男

  産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門

• 宮川 草児

  産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門

• 宮川 草児

  (独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門

• 中尾 節男

  (独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門

• 宮川 佳子

  産業技術総合研究所中部センター

• 中村 圭二

  中部大

• 長田 広光

  中部大学

• 早河 健祐

  中部大学

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著作論文

• 誘導結合型フロロカーボンプラズマの解析
• プラズマ材料プロセス/希薄気体統合シミュレーションツール(PEGASUS)の電磁気学への応用
• 誘導結合型フロロカーボンプラズマのシミュレーション
• フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証
• ドライプロセスにおける真空装置・プラズマ装置内の気体挙動シミュレーション
• プラズマイオン注入法の計算機シミュレーション
• PEGASUS : プラズマ材料プロセス・希薄気体統合シミュレーションツール

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