宮川 佳子 | 産業技術総合研究所中部センター
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概要
関連著者
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宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
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宮川 佳子
産業技術総合研究所中部センター
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田中 正明
ペガサスソフトウェア
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中舘 博
ペガサスソフトウェア(株)
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中尾 節男
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
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宮川 草児
産業技術総合研究所中部センター基礎素材研究部門
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宮川 草児
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
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中尾 節男
(独)産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門
著作論文
- プラズマイオン注入法の計算機シミュレーション
- PEGASUS : プラズマ材料プロセス・希薄気体統合シミュレーションツール
- 4. プラズマイオン注入法におけるプラズマのPIC-MCCシミュレーション(プラズマ応用技術におけるシミュレーション研究)