212 ダイナミックミキシング法によるTiN皮膜の形成
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概要
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- 1989-03-12
著者
-
内海 明博
工業技術院 四国工業技術試験所
-
米田 理史
工業技術院 四国工業技術試験所
-
勝村 宗英
工業技術院 四国工業技術試験所
-
宮川 草児
名古屋工業技術研究所
-
松田 純
工業技術院四国工業技術研究所
-
宮川 草児
名工試
-
松田 純
産業技術総合研究所四国センター
-
矢野 哲夫
通産省工業技術院 四国工業技術研究所
-
矢野 哲夫
工業技術院四国工業技術研究所
-
内海 明博
産業技術総合研究所四国センター
-
宮川 草児
名古屋工業技術試験所
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