酸素雰囲気下でのタンタルターゲットのレーザアブレーションによるTa_2O_5薄膜の形成
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概要
著者
-
米田 理史
工業技術院 四国工業技術試験所
-
勝村 宗英
工業技術院 四国工業技術試験所
-
日野 孝紀
新居浜工業高等専門学校
-
荒木 孝雄
愛媛大学工学部機能材料工学科
-
日野 孝紀
新居浜工業高等専門学校材料工学科
-
日野 孝紀
新居浜高専材料
-
大家 利彦
四国工業技術研究所
-
大家 利彦
通産省工業技術院 四国工業技術研究所
-
矢野 哲夫
通産省工業技術院 四国工業技術研究所
-
大家 利彦
工業技術院四国工業技術研究所
-
矢野 哲夫
工業技術院四国工業技術研究所
-
日野 孝紀
愛媛大学工学部
-
勝村 宗英
産業技術総合研究所四国センター
-
荒木 孝雄
愛媛大学工学部
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