BaTiO_3-SrTiO_3積層薄膜の誘電特性
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概要
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We aimed at development of thin film capacitor alternatives to multi-layer ceramic capacitor fabricated by sintering. It is necessary to improvement of dielectric properties of BaTiO_3 film up to bulk level. In this study, an artificial dielectric super lattices technique by pulsed laser deposition was performed. Multilayer BaTiO_3-SrTiO_3 thin films were prepared on Pt(111)/Ti/SiO_2/Si(100) or SrTiO_3(111) by controlling the arrangement of perovskite structure A-site ion in nano-scale. The lattice of the films in the hetero-epitaxial interface at (111) plane was expanded by compressive strain due to lattice mismatch. Cycle of layer was evaluated from diffraction angle of satellite peak by equation for superlattice structure. Dielectric constant of the multilayer BaTiO_3-SrTiO_3 thin films enlarged at [BaTiO_3(2.5nm)/SrTiO_3(2.5nm)]_<20> was 550, compared to solid solution thin film of 390.
- 社団法人溶接学会の論文
- 2006-08-05
著者
-
荒木 孝雄
愛媛大学
-
日野 孝紀
新居浜工業高等専門学校
-
西田 稔
愛媛大学
-
荒木 孝雄
愛媛大学工学部機能材料工学科
-
日野 孝紀
新居浜工業高等専門学校材料工学科
-
日野 孝紀
新居浜高専材料
-
荒木 孝雄
愛媛大学大学院理工学研究科物質生命工学専攻機能材料工学コース
-
西田 稔
愛媛大学工学部
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