反応性蒸着過程におけるるつぼ中の金属Mnの酸化克服法
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概要
著者
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市川 裕士
Department Of Electrical And Electronic Engineering Shizuoka University
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藤安 洋
静岡大学工学部
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藤安 洋小
静岡大学大学院電子科学研究科:静岡大学工学部電気電子工学科
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藤安 洋
Department of Electronics, Faculty of Engineering, Shizuoka University
-
以西 雅章
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University
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高橋 博信
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University
-
伊藤 泰充
Miyakoda Electronics Technical Center, Suzuki Motor Corporation
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伊藤 泰充
Miyakoda Electronics Technical Center Suzuki Motor Corporation
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高橋 博信
Department Of Electrical And Electronic Engineering Shizuoka University
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