MOCVD法を用いたKNbO_3圧電性薄膜の作製と弾性表面波変換器への応用
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概要
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- 1998-03-01
著者
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
尾上 篤
パイオニア株式会社技術開発本部
-
Yamaguchi Kunio
Electronics Technology Research Center Mitsubishi Materials Co. Ltd.
-
吉田 綾子
パイオニア(株)総合研究所
-
竹間 清文
パイオニア株式会社
-
尾上 篤
パイオニア株式会社総合研究所
-
吉田 綾子
パイオニア
-
山之内 和彦
東北大学通研
-
小島 俊之
東北大学通研
-
小田川 裕之
東北大学通研
-
長 康雄
東北大学通研
-
竹間 清文
パイオニア
-
尾上 篤
パイオニア (株)
-
尾上 篤
パイオニア(株)総合研究所
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