陽極酸化微小ギャップ構造10GHz帯弾性表面波変換器及び一方向性フィルタ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
移動体通信分野の急速な発展や通信・情報量の増大に伴い、デバイスの高周波化が望まれている。弾性表面波(SAW)デバイスは動作周波数に反比例して電極周期及び電極幅が小さくなり、GHz帯でSAWデバイスを動作させるにはサブミクロンオーダのすだれ状電極(IDT)を作製する微細加工技術が必要とされる。先に我々が提案した陽極酸化アルミナ膜を絶縁膜とする微小ギャップ構造を応用し、さらに微細な0.2μm以下のAl電極の作製法を検討した。また、10GHz帯SAWフィルタの実験結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
山之内 和彦
東北大学電気通信研究所
-
我妻 康夫
東北大学電気通信研究所
-
青木 和夫
東北大通研
-
我妻 康夫
東北大通研
-
青木 和夫
東北大学電気通信研究所
-
辻 大俊
東北大学電気通信研究所
-
辻 大俊
東北大学・電気通信研究所
関連論文
- KNbO_3圧電体単結晶超高結合弾性表面波基板
- KNbO_3圧電体単結晶上の超高結合弾性表面波の解析と実験 : 零温度特性をもつ伝搬方位(実験)
- OE6 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ(SAWデバイス,口頭発表)
- 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ
- ファイバ中の光波の弾性波による位相変調
- 非線形誘電率顕微鏡を用いたTbit/inch^2の記録密度を持つ強誘電体記録(垂直記録および一般)
- 非線形誘電率顕微鏡を用いたTbit/inch^2 の記録密度を持つ強誘電体記録
- C-2 微小ギャップ構造すだれ状電極弾性表面波変換器及び低損失フィルタ(弾性表面波)
- 極低温10GHz帯弾性表面波の伝搬特性と低損失フィルタ
- P2-16 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域・低損失共振器フィルタの解析と実験(ポスターセッション2(概要講演))
- 擬似弾性表面波を用いた浮き電極形一方向性変換器とその低損失フィルタへの応用
- 不等間隔サンプリングFIR-SAWフィルタの設計と試作
- 高分解能SS通信測距装置用SAWコンボルバの開発
- 2P3-9 新構造一方向性分散型すだれ状電極を用いた位相直線・広帯域角形・低損失フィルタの解析(ポスターセッション)
- 超音波デバイス 多層薄膜/金属電極/圧電基板構造高結合弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験
- 1-06-01 多層薄膜/電極/圧電基板構造の弾性境界波の解析と実験(弾性表面波デバイス)
- 多層薄膜/電極/圧電単結晶構造の弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験
- P1-33 超低速薄膜/圧電性構造弾性表面波基板と高反射係数をもつ広帯域共振器及び低損失一方向性変換器の解析と実験(ポスター発表)
- 超低速薄膜/圧電単結晶弾性表面波基板を用いた超広帯域・低損失一方向性すだれ状電極変換器・共振器及びフィルタの解析と実験
- 超音波デバイス 溝構造すだれ状電極を用いた超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板の解析と実験
- P1-4 溝構造すだれ状電極を用いた超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板の解析と弾性表面波デバイスへの応用(ポスターセッション1(概要講演))
- P2-22 2GHz帯薄膜グレーティング構造基板を用いた一方向性弾性表面波低損失フィルタの実験(ポスターセッション2(概要講演))
- 薄膜グレーティング構造基板を用いた一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器とλ周期構造反射器を用いた共振器の解析と実験
- P2-C-11 グレーティング構造基板を用いた一方向性すだれ状電極弾性表面波変換器・共振器と広帯域・低損失フィルタへの応用(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- グレーティング構造基板を用いた一方向性すだれ状電極弾性表面波 : 変換器・共振器と広帯域・低損失フィルタへの応用
- 弾性表面波デバイスの研究とそこから得られた教訓(音叉)
- 温度偏差補償法を用いた低損失SAW整合フィルタ
- SAW素子を用いた時間シフト多重化チャープSS方式DPSK変復調器
- チャープSS方式DPSK変復調用SAWマッチドフィルタ
- SPUDTを用いた低損失SAWマッチドフィルタ
- 弾性表面波マッチドフィルタの温度偏差補正法
- 10GHz帯低損失ラダー型弾性表面波フィルタ
- 10GHz帯低損失ラダー型弾性表面波フィルタ
- λ/4正視型すだれ状電極弾性表面波 : 一方向性変換器と低損失フィルタ
- 新しい浮き電極型一方向性弾性表面波変換器とGHz帯低損失フィルタへの応用
- 超微細加工プロセス技術とGHz帯弾性表面波変換器
- λ/4膜厚差型一方向性低損失弾性表面波フィルタ
- 電気化学効果を用いた一方向性電極の作製と移動体通信用フイルタヘの応用
- SA-11-6 電気化学効果を用いた一方向性電極の作製と移動体通信用フィルタへの応用(SA-8. ブロック暗号の攻撃法とその対策,シンポジウム)
- 電気化学効果を用いた膜厚差・異種金属構造微細電極の作製とGHz帯弾性表面波一方向性低損失フィルタへの応用
- 陽極酸化アルミナレジスト膜を用いたサブミクロン電極の作製と弾性表面波デバイスへの応用
- グループ型一方向性すだれ状電極を用いた低損失弾性表面波フィルタ
- PC-7 GaSb/InSb/AlGaAsSb/LiNbO_3構造高効率Strip-coupled型SAWコンボルバの開発
- 半導体膜/圧電体基板構造を用いたSAWデバイスの開発
- A-5-7 高効率Strip-coupled型SAWコンボルバの開発
- アップチャープ方向に一方向性をもつ分散型弾性表面波変換器とその応用
- Theoretical Analysis of Surface Acoustic Wave Propagation Characteristics under Strained Media and Applications for High Temperature Stable High Coupling Surface Acoustic Wave Substrates
- OE1 KNbO_3単結晶基板を用いた弾性表面波エラスティックコンボルバ(SAWデバイス)
- KNbO_3単結晶基板を用いた弾性表面波エラスティックコンボルバ
- KNbO_3を用いた弾性表面波エラスティックコンボルバ
- PC-5 応力下での弾性表面波の伝搬特性と複合構造零温度特性基板への応用
- 走査型電子線誘電率顕微鏡による誘電率温度係数像の撮影
- "応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用"
- "応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用"
- "応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用"
- "応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用"
- 2ターゲットRFマグネトロンスパッタによるKNbO_3薄膜の作製と弾性表面波励振特性
- 高安定高結合弾性表面波複合型基板
- PE8 LiTaO_3, LiNbO_3表面に形成される極薄単分域層(SAWデバイス,ポスターセッション1)
- PE7 KNbO_3圧電性薄膜の分極分布と弾性表面波伝搬特性(SAWデバイス,ポスターセッション1)
- OE9 KNbO_3単結晶の非線形圧電定数の定量評価(材料・評価,SAWデバイス,口頭発表)
- KNbO_3単結晶の非線形圧電定数の定量評価
- KNbO_3圧電性薄膜の分極分布と弾性表面波伝搬特性
- KNbO_3単結晶の非線形圧電定数の定量評価
- KNbO_3圧電性薄膜の分極分布と弾性表面波伝搬特性
- 弾性表面波フィルタ用LiNbO_3回転Y板の最適カット
- P-22 サブミクロン加工技術を用いた低損失GHz帯弾性表面波変換器及びフィルタ(ポスター・セッション)
- 超微細加工プロセス技術と GHz 帯低損失弾性表面波フィルタ
- 最終講義 弾性表面波エレクトロニクスの研究35年
- 超高結合弾性表面波材料と10 GHz帯弾性表面波フォノンおよびフィルタ (誘電体物理の新しい展開 特集号) -- (最近の話題から)
- 2P-28 位相器構造一方向性すだれ状電極を用いた位相直線,広帯域角形,低損失フィルタの解析(ポスターセッション)
- 柴山乾夫先生を偲ぶ : 磁歪振動子・短円筒振動子から弾性表面波デバイスまで
- P3-46 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域低損失フィルタ及び広帯域共振器フィルタの解析と実験(ポスターセッション3,ポスター発表)
- 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域低損失フィルタ及び広帯域共振器フィルタの解析と実験
- P3-34 高結合・零温度特性をもつSiO_2/LiNbO_3構造の弾性表面波基板の研究とそのデバイスへの応用(ポスターセッション3,ポスター発表)
- 高結合・零温度特性をもつSiO_2/LiNbO_3構造の弾性表面波基板の解析と実験的検討
- GaAsヘテロ接合基板を用いた音響電荷転送素子
- Observation of Ultrathin Single-Domain Layers Formed on LiTaO_3 and LiNbO_3 Surfaces Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscope with Submicron Resolution
- Observation of Ferroelectric Polarization in KNbO_3 Thin Films and Surface Acoustic Wave Properties
- 陽極酸化技術を用いた微小ギャップ・多層電極構造弾性表面波変換器とフィルタへの応用
- スペクトル拡散通信用SAWコンボルバの高効率に関する研究
- 分散型一方向性すだれ状電極変換器とエラスティックコンボルバの高効率化
- SiO_2/LiNbO_3構造超高結合・零温度特性弾性表面波基板の解析とデバイスへの応用
- フェロー受賞記念講演『弾性表面波研究の回顧とその展望』
- 弾性表面波デバイス (最近の超音波応用デバイス論文特集)
- PC-8 浮き電極型一方向性斜め電極指SAWフィルタ
- 24pK-6 微細加工技術とGHz帯コーヒーレント弾性表面波フォノン
- ニオブ酸カリウム結晶のSAWデバイスへの応用
- MOCVD法を用いたKNbO_3圧電性薄膜の作製と弾性表面波変換器への応用
- 陽極酸化微小ギャップ構造10GHz帯弾性表面波変換器及び一方向性フィルタ
- LaB6およびLaB6-BaB6陰極からの熱電子放射
- 走査型電子線誘電率顕微鏡
- Li_2B_4O_7 NSPUDT基板上の方向性反転電極トランスジューサの特性
- G-4 距離重み付け法を用いたグループ型一方向性弾性表面波フィルタ(一般講演)
- NSPUDT基板上のグループ型方向性反転電極構成法
- 動画像処理を用いた超音波マイクロマニピュレータ
- 高結合KNbO_3圧電体単結晶・薄膜を用いた超高結合弾性表面波基板とその応用
- A Surface Acoustic Wave Elastic Convolver using a KNbO_3 Single Crystal Substrate
- 10 GHz Range Low-Loss Ladder Type Surface Acoustic Wave Filter
- 弾性表面波・半導体集積型コンボルバ