KNbO_3圧電体単結晶超高結合弾性表面波基板
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概要
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21世紀に向けた高度情報通信に対応する、高機能・高性能で、かつ高度に集積化された、超小型の通信用機能素子を研究・開発するためには、これまでにはない大きな電気機械結合係数 K_2 の弾性表面波基板の研究が重要である。今回、光学結晶として注目されている KNbO_3 単結晶が、同時に非常に大きな圧電性を示す単結晶である[1]ことから、弾性表面波材料として理論解析及び実験を行い、LiNbO_3の電気機械結合係数[2]の約10倍の値(K^2=0.53)を得たので報告する次第である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
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