非線形誘電率応答と圧電応答を用いた強誘電分極分布の観測
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概要
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強誘電体の分極分布を純粋に電気信号のみで観測する方法として, 著者らはこれまでに走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)を開発している.またSNDMの探針に導電性のカンチレバーを用いることにより, その分解能は現在ではサブナノメータにまで達している.一方強誘電材料の分極分布を比較的高分解能に観測する方法として, 圧電応答を検出する方法が良く用いられているが, 今回このSNDMによる分極分布観測像が圧電応答による分極観測像より高分解能であることを示す.またSNDMを強誘電メモリの書き込み・読み出し装置へと応用するための基礎的実験も行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
著者
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