電気化学効果を用いた膜厚差・異種金属構造微細電極の作製とGHz帯弾性表面波一方向性低損失フィルタへの応用
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概要
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異種金属によるバイメタル構造、或いは、同種金属による膜厚差を有する新しい構造の一方向性すだれ状電極について報告している。これは、電気化学効果を用いた電極作製技術により、重ね合わせ露光技術を必要とせず容易に作製可能である。膜厚差と浮き電極の両方を利用したλ, 6膜厚差型浮き電極一方向性変換器の実験結果は良好な一方向性特性を示している。また、λ/4幅の電極ギャップを有し、正規型に近い構造で-方向性特性を示す、新しい一方向性変換器の電極構造・計算結果とその作製方法、及びダブル電極に膜厚差を設けた一方向性変換器を本方法で作製した実験結果について述べている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-22
著者
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